真空箱式氦檢漏儀在科技時代的市場應(yīng)用和發(fā)展
2022.09.08
(1)便攜性:許多真空箱式氦檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化：氦峰自動標(biāo)定，零點自動調(diào)整，量程自動轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
當(dāng)發(fā)現(xiàn)真空箱式氦檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
